人们通常把XRF仪器在物质上而产生的次级X射线叫X射线荧光（X—Ray Fluorescence），而把用来照射的X射线叫原级X射线。所以X射线荧光仍是X射线。一台典型的X射线荧光（XRF）仪器由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。X射线照在物质上而产生的次级 X射线被称为X射线荧光。利用X射线荧光原理，理论上可以测量元素周期表中铍以后的每一种元素。在实际应用中，有效的元素测量范围为9号元素 （F）到92号元素（U）。
XRF仪器的应用
XRF仪器已广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域。从材料可靠性鉴定、废旧金属回收、测量石油中的硫、金属表面镀层厚度测量到电子消费品行业中金属合金元素的质量控制。近年来为应对欧盟RoHS指令的要求，在电子电气制造业企业一度掀起了应用的高潮。